10月29日，中微公司（688012）發佈第三季度業績公告。期內營收為31億元，同比增長50.62%；淨利潤為5.09億元，增長了27.50%。當季研發投入為10.3億元，同比增長了79.9%，占營收比例為33.25%。

今年前三季度營業收入為80.63億元，同比增長約46.40%；淨利潤為12.11億元，同比增長了32.66%。前三季度研發投入為25.23億元，同比增長了63.44%，占營收比例為31.29%。

中微公司表示，公司針對先進邏輯和記憶體件製造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，先進邏輯器件中段關鍵刻蝕工藝和先進記憶體件的超高深寬比刻蝕工藝實現大規模量產。

其中CCP方面，公司用於關鍵刻蝕工藝的單反應臺介質刻蝕產品保持高速增長， 60比1超高深寬比介質刻蝕設備成為國內標配設備，量產指標穩步提升，下一代90比1超高深寬比介質刻蝕設備即將進入市場；ICP方面，適用於下一代邏輯和存儲客戶用 ICP 刻蝕設備和化學氣相刻蝕設備開發取得了良好進展。加工的精度和重複性已達到單原子水準。

此外，公司為先進記憶體件和邏輯器件開發的LPCVD、ALD等多款薄膜設備已經順利進入市場， 並且設備性能完全達到國際領先水準， 薄膜設備的覆蓋率不斷增加。公司矽和鍺矽外延EPI設備已順利運付客戶端進行量產驗證，並且獲得客戶高度認可。在泛半導體設備領域，公司正在開發更多化合物半導體外延設備，已陸續付運至客戶端開展生產驗證。

公告顯示：今年前三季度，公司刻蝕設備收入61.01億元，同比增長約38.26%；LPCVD和ALD等薄膜設備收入4.03億元，同比增長約1332.69%。

中微公司前三季度淨利潤增長低於營收增長。公司解釋稱，2025 年前三季度營業收入增長46.40%下， 毛利較上年增長約8.27億元； 由於市場對中微開發多種新設備的需求急劇增長， 2025 年公司顯著加大研發力度， 以儘快補短板， 實現趕超， 為持續增長打好基礎。 2025年前三季度公司研發支出較上年同期增長 9.79 億元（增長約 63.44%），研發支出占公司營業收入比例約為31.29%，遠高於科創板均值；此外，由於市場波動，公司 2025 年前三季度計入非經常性損益的股權投資收益為3.29億元，較上年同期增加約2.75億元。

此外，中微公司還發佈公告，公司於2025年10月29日召開第三屆董事會第七次會議，審議通過《關於回購股份集中競價減持計畫的議案》。公司計畫自本公告披露之日起15個交易日後的3個月內，通過集中競價交易方式，按照市場價格累計減持不超過約210萬股已回購股份，占公司總股本的0.33%。若此期間公司發生送紅股、資本公積金轉增股本等導致公司股本總數變動的情形，公司將對減持股份數量進行相應調整。

29日收盤，中微公司報收296.66元，微漲0.39%，總市值1857.52億。

來源：中國澎湃新聞