3月30日晚間，中微半導體設備（上海）股份有限公司（688012，以下簡稱“中微公司”）披露2025年年度報告。報告顯示，2025年公司全年實現營業收入123.85億元，同比增長36.62%。歸屬於上市公司股東的淨利潤達21.11億元，同比增長30.69%，扣非淨利潤為15.50億元，增長11.64%。公司擬向全體股東每10股派發現金紅利3.50元（含稅）。擬以資本公積金向全體股東每10股轉增4.9股。

中微公司主要從事半導體設備的研發、生產和銷售，通過向下遊積體電路、LED 外延片、先進封裝、 MEMS 等半導體產品的製造公司銷售刻蝕設備、薄膜設備和MOCVD設備、 提供配件及服務。

中微公司指出，2025年刻蝕設備銷售約98.32億元，同比增長約35.12%；LPCVD設備銷售約5.06億元，同比增長約224.23%；公司針對先進邏輯和記憶體件製造中關鍵刻蝕工藝的高端產品新增付運量顯著提升，在先進邏輯器件和先進記憶體件中多種關鍵刻蝕工藝實現大規模量產。

公告顯示，中微公司的刻蝕設備業務繼續發揮壓艙石作用，截至2025年底，公司刻蝕設備反應臺全球出貨量超過6800臺，應用範圍覆蓋65納米至3納米及更先進制程的各類刻蝕場景，在國內主要客戶晶片生產線的市占率持續穩步提升。

值得注意的是，中微公司自主研發的CCP高能等離子體刻蝕設備和ICP低能等離子體刻蝕設備已實現對95%以上的三百多種刻蝕應用需求的覆蓋。其中，60比1超高深寬比刻蝕設備在記憶體生產線上實現穩定可靠的大批量生產，使中微公司成為國內極少數能夠全面覆蓋記憶體刻蝕應用中各類超高深寬比需求的供應商。此外，ICP雙臺機的重複性和匹配精度達到皮米級控制水準，核心工藝指標再攀新高；新開發的晶圓邊緣刻蝕設備和金屬刻蝕機也順利進入客戶端生產線驗證。

晶圓製造設備可以分為刻蝕、薄膜沉積、光刻、量檢測、離子摻雜等品類，其中刻蝕設備、薄膜沉積設備、光刻設備是積體電路前道生產工藝中制程步驟數量龐大，工藝開發頗具挑戰性的三類核心設備。 根據Gartner歷年統計， 全球刻蝕設備、 薄膜沉積設備分別占晶圓製造設備價值量約 22%和 23%。

公告顯示，中微公司薄膜沉積設備業務在2025年迎來爆發式增長，全年營收同比增長約224.23%，成為驅動中微公司業績增長的重要新引擎。

中微公司董事長尹志堯曾說：“一個半導體設備公司如果只開發刻蝕設備，而沒有薄膜設備，其發展空間就會受到限制。”

近年來中微公司將各類薄膜沉積設備的開發和導入市場作為聚焦重點，以行業領先的研發速度，在短時間內成功開發出十幾種導體和介質薄膜核心設備，多款產品實現技術與市場的雙重突破。

中微公司繼續大力度加碼研發。報告顯示，2025年中微公司研發投入達37.44億元，同比增長52.8%，占營業收入比重超過30%，遠高於科創板上市公司10%到15%的平均水準。高強度的研發投入推動產品迭代速度顯著提升，新設備開發週期從傳統的3至5年縮短至2年以內。

據披露，目前中微公司正在推進六大類、超20款新設備的研發工作，涵蓋新一代CCP高能等離子體刻蝕設備、ICP低能等離子體刻蝕設備、晶圓邊緣刻蝕設備、LPCVD及ALD薄膜設備、矽和鍺矽外延EPI設備、新一代等離子體源的PECVD設備、CuBS PVD超多反應腔集成設備、電子束量檢測設備、大平板設備以及多款新型MOCVD設備等。

3月30日當天，中微公司正式披露《發行股份及支付現金購買資產並募集配套資金報告書（草案）》，中微公司擬通過發行股份及支付現金的方式購買杭州眾芯矽、寧容海川、臨安眾芯矽、臨安眾矽、杭州芯匠、杭州眾誠芯等41名交易對方合計持有的杭州眾矽64.69%股權，並募集配套資金。整個股權交易金額為15.7億元，募資金額為15億元。

這是中微公司成立二十餘載來的首次以發股方式實施控股權並購，也是自“科創板八條”“並購六條”等政策發佈以來，半導體設備類上市公司中首個以發股方式收購資產的案例。

中微公司作為國內等離子體刻蝕和薄膜沉積等幹法設備的領軍者，已在65納米至3納米及更先進制程領域實現量產，但在濕法工藝領域，特別是與刻蝕、薄膜並稱為前道核心工藝的化學機械拋光（CMP）設備，中微公司此前尚存空白。

杭州眾矽正是填補這一空白的關鍵拼圖。作為國內少數掌握12英寸高端CMP設備核心技術並實現量產的企業，杭州眾矽由CMP設備領域資深專家顧海洋博士於2018年創立，其首創的6盤設計，顯著提升了設備的輸出效率，產能（WPH）水準可以更好滿足下游客戶的需求。

通過本次交易，中微公司將成為具備“刻蝕+薄膜沉積+量檢測+濕法”四大前道核心工藝能力的廠商，實現從“幹法”向“幹法+濕法”整體解決方案的關鍵跨越。這意味著中微公司能夠為客戶提供更高度協同、更系統化的成套設備方案，有望縮短客戶工藝調試與驗證週期，增強客戶黏性，加速國產設備在主流產線的規模化滲透。

此外，公告中提及，中微公司還將通過整合採購需求、共用供應商資源及部署自主研發的管理軟體平臺，幫助杭州眾矽降低關鍵零部件採購成本與整體運營成本，實現從研發到交付全鏈條的效率提升。

3月30日收盤，中微公司報收316.74元，增長3.64%。

來源：中國澎湃新聞